heterogeneous reaction

The absorption of the activated particles and various heterogeneous reactions take place on the surface, in the result of which a silicon film is formed on the treated surface.

На поверхности происходит адсорбция активированных частиц и разнообразные гетерогенные химические реакции, в результате которых на обрабатываемой поверхности образуется пленка кремния.

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012

When carrying out heterogeneous chemical reactions, primarily for applying films of a uniform thickness to hard surfaces of substrates, the method may be modified in accordance with the embodiments described below.

При проведении гетерогенных химических реакций, преимущественно для нанесения равномерных по толщине пленок на твердые поверхности подложек, способ может быть модифицирован в соответствии с приведенными ниже 25 вариантами.

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012

METHOD FOR CARRYING OUT HOMOGENEOUS AND HETEROGENEOUS CHEMICAL REACTIONS USING PLASMA

СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГОМОГЕННЫХ И ГЕТЕРОГЕННЫХ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЛАЗМЫ

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012