При необходимости аппаратура работает в автономном режиме.

The equipment can be used in an independent mode.

http://www.patentlens.net/ 11/6/2011

http://www.patentlens.net/ 11/6/2011

Расход газовой смеси на входе в первый реактор в два раза превышал расход газовой смеси, необходимый для работы одного реактора, работающего в автономном режиме.

The flow rate of trichlorosilane and hydrogen mixture supplied into the first reactor was twice larger than the flow rate in the stand-alone mode for one reactor.

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

Перемешивание подаваемого газа с продуктами реакции осаждения кремния приводит при использовании реакторов работающих в автономном режиме к тому, что в процессе осаждения используется состав газа, в котором уже около 10% кремния осаждено.

Mixing of the supplied gas with the reaction products in the reactor chamber leads to the situation, when the growth in conventional reactors occurs from the gas mixture depleted by about 10% compared to the input one.

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

Сравнительные характеристики реакторов соединенных последовательно при расходе газовой смеси равной сумме расходов двух реакторов и реактора работающего в автономном режиме

Comparison of the reactor characteristics. The gas flow rate into the coupled reactors is equal to doubled gas flow rate for a stand-alone reactor.

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

Параметры процесса для одного реактора, работающего в автономном режиме.

Operating conditions of one stand-alone reactor

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

Следовательно, увеличение производительности процесса без изменения направления прохождения газовой смеси по отношению к производительности процесса в реакторе, работающем в автономном режиме составляет +29%.

Hence, productivity increase in coupled reactors without change of pumping direction as compared with separate reactor is about 40%−11%=29%.

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

Что же касается степени использования газовой смеси, то в этом случае она близка к степени использования газовой смеси при проведении процесса в реакторе, работающем в автономном режиме.

At that, gas-to-silicon conversion becomes nearly the same as in stand-alone reactor.

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011

http://www.patentlens.net/ 11/2/2011