excimer

The present invention relates generally to the field of quantum electronics, in particular, to gas-discharge TE lasers, such as excimer, nitrogen, CO2— lasers, etc.

Изобретение относится к области квантовой электроники, в частности к газоразрядным ТЕ лазерам, таким как эксимерные, азотные, CO2-лaзepы.

http://www.patentlens.net/ 11/6/2011

http://www.patentlens.net/ 11/6/2011

As a result over the last 40 years industrial projection photolithography has moved from mercury lamps with characteristic wavelengths of 330-400 nm to excimer lasers with wavelengths 193 and even 157 nm.

В результате за последние 40 лет в промышленной проекционной фотолитографии произошел переход от ртутных ламп с характерной длиной волны 330-400 нм к эксимерным лазерам с длиной волны 193 и даже 157 нм.

http://www.patentlens.net/ 11/25/2011

http://www.patentlens.net/ 11/25/2011

The proposed invention can be utilized for designing lasers with a high repletion rate of pulses, such as excimer lasers.

Предлагаемое изобретение может использоваться в конструкции газовых лазеров с высокой частотой повторения импульсов, таких как эксимерные лазеры.

http://www.patentlens.net/ 11/6/2011

http://www.patentlens.net/ 11/6/2011