pitching motion

Besides, the appropriate pitch for step motion is in the range from 0.01 nm to 1 nm, and the diameter d of the radiation flow at the output of each radiator is from 10 to 50 nanometers.

Кроме того наиболее целесообразно пошаговое перемещение осуществлять с шагом от 0,01 до 1 нм, а диаметр d потока излучения на выходе каждого из излучателей может составлять от 10 до 50 нм.

http://www.patentlens.net/ 11/18/2011

http://www.patentlens.net/ 11/18/2011

Moreover, the apparatus may be capable of changing the motion pitch depending 011 the required pattern accuracy and the time of its generation.

При этом устройство может быть выполнено с возможностью изменения величины шага перемещения в зависимости от требуемой точности получаемого изображения и скорости его получения.

http://www.patentlens.net/ 11/18/2011

http://www.patentlens.net/ 11/18/2011

The best accuracy of the exposure spots is achieved at the motion with a pitch from 0.01 to 1 nanometer.

Для повышения точности получаемых размеров пятен засветки наиболее целесообразно осуществлять пошаговое перемещение с шагом от 0,01 до 1 нм.

http://www.patentlens.net/ 11/18/2011

http://www.patentlens.net/ 11/18/2011